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PRECESS普瑞賽思傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學氣相沉積（CVD），其技術采用單軸氣動執行器驅動的L型運動。在L型運動中，隔板垂直移動到關閉位置——無需與閥體接觸——然后在最終運動中水平推至隔板座，密封件以固定力接觸隔板座，該力與連接的氣壓相關。這不僅避免了摩擦和由此產生的潛在顆粒生成，還最小化了密封件的磨損。

PRECESS普瑞賽思傳輸門閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個真空室用于裝載或處理。因此，門的另一側始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應用量身定制的。

PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過程中進行壓力控制的理想解決方案。板充當節流元件，并改變了閥門打開的電導。 AB-N的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡可能快地達到設定的壓力。