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EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機(jī)型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設(shè)計(jì)，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn)，還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件。

EBARA EV-SA系列真空干泵 是無(wú)需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì)，最大排氣速度達(dá)到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn)，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。