EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、輕量、節(jié)能的空冷干式真空泵。無需冷卻水，所需公用工程僅電源，可在單相100V-240V電源下使用。采用小型、輕量的便攜式設(shè)計(jì)，在有限空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn)安裝。除此以外，還采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，無需更換密封，使用壽命更長(zhǎng)。除了各種分析用途以外，它也是便攜式漏泄檢測(cè)器以及需要反復(fù)搬動(dòng)的研究和試驗(yàn)用途的選擇。

特點(diǎn)

l  無油潔凈真空；無需補(bǔ)充或更換水、油等定期維護(hù)作業(yè)

l  可從大氣壓達(dá)到高度真空

l  小型、輕量、節(jié)能

l  風(fēng)冷

l  無需更換密封，使用壽命長(zhǎng)

l  低噪音

l  可滿足CE標(biāo)示/SEMI-S2/NRTL要求

技術(shù)參數(shù)

EBARA荏原公司介紹：

2023年全年銷售額：345億元人民幣

全球員工：19600人

EBARA荏原的精密與電子事業(yè)公司是真空技術(shù)和平坦化技術(shù)的企業(yè)，為行業(yè)先進(jìn)的技術(shù)制造現(xiàn)場(chǎng)提供支撐。EBARA荏原向全球供應(yīng)半導(dǎo)體制造的CMP裝置以及干式真空泵、廢氣處理裝置、臭氧水生產(chǎn)裝置等各種產(chǎn)品。這些產(chǎn)品通過高性能、高可靠性和令人放心的技術(shù)支持體制，在眾多領(lǐng)域得到了使用。除了半導(dǎo)體領(lǐng)域以外，在化學(xué)、醫(yī)藥、其他制造業(yè)和研究開發(fā)用途方面，荏原制作所的產(chǎn)品同樣大放光彩。

應(yīng)用行業(yè)