EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、輕量、節(jié)能的空冷干式真空泵。無需冷卻水，所需公用工程僅電源，可在單相100V-240V電源下使用。采用小型、輕量的便攜式設(shè)計，在有限空間內(nèi)也能實現(xiàn)安裝。除此以外，還采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，無需更換密封，使用壽命更長。除了各種分析用途以外，它也是便攜式漏泄檢測器以及需要反復搬動的研究和試驗用途的選擇。

特點

l  無油潔凈真空；無需補充或更換水、油等定期維護作業(yè)

l  可從大氣壓達到高度真空

l  小型、輕量、節(jié)能

l  風冷

l  無需更換密封，使用壽命長

l  低噪音

l  可滿足CE標示/SEMI-S2/NRTL要求

技術(shù)參數(shù)

EBARA荏原公司介紹：

2023年全年銷售額：345億元人民幣

全球員工：19600人

EBARA荏原的精密與電子事業(yè)公司是真空技術(shù)和平坦化技術(shù)的企業(yè)，為行業(yè)先進的技術(shù)制造現(xiàn)場提供支撐。EBARA荏原向全球供應(yīng)半導體制造的CMP裝置以及干式真空泵、廢氣處理裝置、臭氧水生產(chǎn)裝置等各種產(chǎn)品。這些產(chǎn)品通過高性能、高可靠性和令人放心的技術(shù)支持體制，在眾多領(lǐng)域得到了使用。除了半導體領(lǐng)域以外，在化學、醫(yī)藥、其他制造業(yè)和研究開發(fā)用途方面，荏原制作所的產(chǎn)品同樣大放光彩。

應(yīng)用行業(yè)