VAT全系列真空閥門簡(jiǎn)介：

VAT真空閥的設(shè)計(jì)適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和超高真空條件。

VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在的運(yùn)行條件下也表現(xiàn)佳。

通過全面的真空隔離閥和控制閥、氣體定量閥、傳輸閥和排氣閥、淹沒閥以及快速關(guān)閉閥的產(chǎn)品組合，VAT為所有應(yīng)用領(lǐng)域提供了最佳的解決方案。

技術(shù)是關(guān)鍵，為了地保證最佳的真空隔離或控制功能，VAT真空閥采用了VAT開發(fā)的不同的真空閥技術(shù)。這些技術(shù)除了確保防止顆粒物的功能外，還確保在大量的關(guān)閉和控制周期內(nèi)精確運(yùn)行。

VAT真空閘閥、應(yīng)用廣泛的真空角閥以及蝶式真空閥、擺式真空閥或全金屬真空閥因此為所有領(lǐng)域的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

VAT全系列真空閥門分類：

真空控制閥:

真空閘閥：

真空角閥/內(nèi)聯(lián)閥/氣缸閥：

真空蝶閥：

真空擺閥：

泄壓/排氣閥：

氣體計(jì)量閥：

真空止回閥：

真空全金屬閥：

真空傳輸閥：

真空多閥裝置：

不同類型閥的特點(diǎn)計(jì)應(yīng)用:

真空閘閥 – 通常是隔離或較簡(jiǎn)單的控制應(yīng)用的理想選擇。安裝深度很窄，傳導(dǎo)性最大（流阻最小），但閘門的行程空間需要。這些也可以采取真空狹縫閥、真空傳輸閥或真空門的形式，產(chǎn)品通過這些閥門被引入真空工藝室。

真空角閥 – 通用的一般用途真空閥。尺寸非常緊湊，通常在密封、執(zhí)行器和傳感器方面非常模塊化。平均電導(dǎo)率，非常容易維護(hù)。非常好，如果需要的話，有非常精確的可控性。

真空蝶閥 – 主要用于控制應(yīng)用。非常窄的安裝深度，良好的傳導(dǎo)性，快速和精確的可控性。

真空擺閥 – 非常窄的安裝深度和緊湊的尺寸，結(jié)合非常精確的控制行為，非常好的絕緣能力和非常高的傳導(dǎo)性。

對(duì)稱流真空調(diào)節(jié)閥 – 特殊類型，優(yōu)化了從第一個(gè)開口到整個(gè)閥門開口的非常均勻的流動(dòng)行為。

氣體計(jì)量閥或漏氣閥 – 特別是對(duì)于非常精細(xì)的計(jì)量，例如，低流量的工藝氣體的計(jì)量。

泄壓閥或排氣閥 – 安全閥允許真空系統(tǒng)有控制地，通常是通風(fēng)，并防止超過規(guī)定的壓力條件。

真空止回閥 –被動(dòng)式，體積流量和壓差操作的閥門。通常用于保護(hù)真空系統(tǒng)免受倒流污染。例如，用于真空回流泵和真空系統(tǒng)之間。

快速閉合閥 – 主動(dòng)式保護(hù)閥，通常保護(hù)較大的真空體積或真空室不因泄漏而造成真空損失。主要特點(diǎn)：對(duì)檢測(cè)到的壓力下降有非常快的關(guān)閉反應(yīng)。在UHV和XHV應(yīng)用中，通常由扇形真空閥（通常是真空閘閥）支持，以確保即使在非常高的壓差下也能實(shí)現(xiàn)密封隔離。

真空全金屬閥 – 專為壓力、溫度和輻射條件設(shè)計(jì)的一組真空閥。主要特點(diǎn)：硬對(duì)硬（金屬對(duì)金屬）的密封，而不是彈性密封，因?yàn)閺椥悦芊鉄o法承受服務(wù)條件。

真空多閥裝置 – 特殊類型的真空閥，將幾種真空閥的功能結(jié)合在一個(gè)單元中。主要特點(diǎn)：減少部件數(shù)量，裝配速度快。通常是根據(jù)客戶要求定制。

3位真空閥 – 真空隔離閥的特殊形式，其中除了關(guān)閉和打開的位置外，還可以定義第三個(gè)閥位。例如，一種應(yīng)用是為了避免在高壓差時(shí)由于閥門打開過快而產(chǎn)生的壓力脈沖。 在第三個(gè)位置，密封圈上的接觸壓力在短時(shí)間內(nèi)略微降低，而閥門卻沒有明顯的打開，從而使壓力變化更加平穩(wěn)。

除了這些基本類型，還有大量的混合變體，其中一些結(jié)合了不同的閥門技術(shù)或?yàn)槟承┨厥庖筇峁┙鉀Q方案。

什么是高性能真空閥？

某些真空工藝對(duì)工藝環(huán)境的純度以及化學(xué)和物理穩(wěn)定性有特別高的要求。例如，這適用于幾乎所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，以及許多使用真空系統(tǒng)的研究設(shè)施。在基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，處理?xiàng)l件的能力，如非常高或低的溫度、強(qiáng)輻射和壓力高達(dá)10-15mbar的高真空（XHV）--目前技術(shù)上可行和可測(cè)量的極限--常常被添加到這些要求中。

這些應(yīng)用中的真空閥在以下方面與標(biāo)準(zhǔn)真空閥不同:

最小化的顆粒排放

高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，不會(huì)通過其外殼、機(jī)械裝置或密封件的材料放出顆粒，也不會(huì)通過其開閉或控制運(yùn)動(dòng)的摩擦放出顆粒。這是通過對(duì)所用材料的特殊選擇和處理，以及通過某些設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)來實(shí)現(xiàn)的，這些細(xì)節(jié)可以最大限度地減少或在某些情況下消除粒子的釋放。

最小化的運(yùn)動(dòng)脈沖

每一個(gè)閥門通過其開啟和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)脈沖。在自動(dòng)驅(qū)動(dòng)閥門的情況下，這些脈沖的范圍可以從輕微的振動(dòng)到可以聽到和感知的硬沖擊。這些運(yùn)動(dòng)脈沖可能會(huì)對(duì)敏感的制造工藝產(chǎn)生負(fù)面影響，例如，通過額外的顆粒釋放。除了設(shè)計(jì)特點(diǎn)外，高性能真空閥主要通過控制所謂的運(yùn)動(dòng)曲線來減少這些脈沖。與乘客電梯的運(yùn)行方式類似，在到達(dá)關(guān)閉點(diǎn)前不久，關(guān)閉速度會(huì)減慢，以防止 "撞擊"。這些運(yùn)動(dòng)曲線通常可以被修改，例如，在關(guān)閉時(shí)間和關(guān)閉頻率方面，它們可以適應(yīng)所需條件。

中性化學(xué)和物理行為

真空閥總是改變真空工藝室的均勻性，無論其形式如何。這種情況的發(fā)生，部分是由于其幾何形狀的結(jié)果。流動(dòng)路徑的變窄或變寬可以改變流動(dòng)阻力和流動(dòng)速度，或者死角，如閥板的移動(dòng)空間，可以促進(jìn)沉積過程。這也是通過開啟和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)發(fā)生的，它改變了流動(dòng)行為以及工藝氣體的濃度、分布、混合和溫度。高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，盡可能地補(bǔ)償這種影響，或使其可控。為此，在設(shè)計(jì)中加入了各種額外的技術(shù)，這些技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了閥門的基本功能，如開啟和關(guān)閉或控制。

精確的可重復(fù)的行為

高性能真空閥與標(biāo)準(zhǔn)溶液的區(qū)別主要在于其高度可重復(fù)的行為。這意味著，雖然標(biāo)準(zhǔn)解決方案在每個(gè)單獨(dú)的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)中表現(xiàn)出波動(dòng)，并在使用期間顯示出對(duì)其定義的性能值的偏差，但高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，在長(zhǎng)時(shí)間的使用中始終表現(xiàn)出相同的行為，定義在非常窄的范圍內(nèi)。這意味著它們能夠穩(wěn)定真空過程，并將過程控制的復(fù)雜性降到zuidi。

真空閥的類型有哪些？

真空閥和其他閥門一樣，使用一些基本的力學(xué)原理，如閘閥、擋板盤或旋轉(zhuǎn)盤來分離或隔離真空區(qū)域并控制體積流量。然而，使用這些力學(xué)原理的基本條件是wanquan不同的。例如，高自由度的顆粒、精確控制非常小的體積流動(dòng)、密封、最小的振動(dòng)和沖擊是至關(guān)重要的特性。因此，這些基本的機(jī)械裝置通常為真空閥設(shè)計(jì)得不同。例如，關(guān)閉機(jī)構(gòu)通常被設(shè)計(jì)為無摩擦地關(guān)閉，并引起最小的振動(dòng)和沖擊，如果有的話。此外，控制運(yùn)動(dòng)可以是極其精細(xì)的劑量，密封被優(yōu)化，以便在理想情況下不釋放任何顆粒，其靜態(tài)或動(dòng)態(tài)特性在長(zhǎng)期使用中保持穩(wěn)定。