VAT 65.3控壓真空擺閥

  VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非常快速、精細(xì)和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個(gè)位置，從而在極短的響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù)，對(duì)速度和路線進(jìn)行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過(guò)優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運(yùn)動(dòng)可避免傳統(tǒng)閥門常見(jiàn)的沖擊和振動(dòng)。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無(wú)礙，幾乎察覺(jué)不到關(guān)閉和打開(kāi)。閥板提供非常精確的機(jī)械引導(dǎo)，可確保往復(fù)運(yùn)動(dòng)中的無(wú)接觸氣流控制，并在密封運(yùn)動(dòng)的所有區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其穩(wěn)定的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。

65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接。可集成定制法蘭，也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端  口可通過(guò)個(gè)人計(jì)算機(jī)或連接到過(guò)程控制單 元 (PCU) 輕松訪問(wèn)。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡(jiǎn)化維護(hù)計(jì)劃。

65.3控壓真空擺閥主要特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)：

特點(diǎn):

• 快速精確的壓力控制

• 無(wú)沖擊操作：無(wú)粒子生成

• 提高工藝穩(wěn)定性：可控制所有流量和壓力

• 帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調(diào)節(jié)器 (IC2)

• “即插即用"改造：無(wú)需校準(zhǔn)或匹配

優(yōu)勢(shì):

   ·       穩(wěn)定的可靠性、精度和速度

   ·       維護(hù)周期延長(zhǎng)

   ·       運(yùn)行成本低

65.3 控壓擺閥應(yīng)用：

顯示干式蝕刻

通常情況下，干式蝕刻通過(guò)離子轟擊（通常是活性氣體的等離子體）來(lái)移除和蝕刻半導(dǎo)體材料的遮蔽圖案，從而將材料從暴露的表面移開(kāi)。這個(gè)過(guò)程可能導(dǎo)致冷凝和高度的副作用，這可能影響真空閥的功能和可靠性。

過(guò)程控制和隔離

真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。在上游和下游過(guò)程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復(fù)性。其結(jié)果是：在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

OLED噴墨打印

在OLED的噴墨印刷中，所需的有機(jī)材料在常規(guī)的大氣條件下點(diǎn)滴在大型玻璃基材上的。精確的控制和隔離條件對(duì)于實(shí)現(xiàn)預(yù)期的生產(chǎn)質(zhì)量和效率至關(guān)重要。VAT真空閥解決方案在這一領(lǐng)域設(shè)立了標(biāo)準(zhǔn)。

65.3 控壓擺閥技術(shù)數(shù)據(jù)