Alicat艾里卡特標準型氣體質量流量計快速，穩定，量程比寬，可同時測量98種以上氣體的質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度，量程比0.01%到100%。

標準規格

l 滿量程范圍：所有氣體0.5 SCCM至5000 SLPM(氫氣10000 SLPM)

l 測量范圍：滿量程的0.01%–100%

l 精度：讀數的±0.6%或滿量程的±0.1%，以較高者為準

l 可選高精度：讀數±0.5%或滿量程±0.1%，以較大者為準

l 重復性：讀數的0.1%和滿量程的0.02%

l 響應時間：< 10ms

l 工作溫度:-10℃到+60℃

l 滿量程工作壓力:160 PSIA (11 barA)

Alicat艾里卡特標準型氣體質量流量計

特點

l 同時測量體積流量，質量流量，氣體壓力，氣體溫度。

l 現場可調的工程單位和STP/NTP條件。

l 可從98+預加載NIST可追溯氣體校準選擇過程氣體。

l 定義和存儲多達5種成分氣體的20種定制氣體混合物。

l 使用集成觸摸板從背光顯示和控制配置中讀取測量值。

l 可選集成流量累加器和報警器。

構成和性能選項

l 通信:Analog, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet，EtherCAT，EtherNet/IP，Profibus，PROFINET

l 過程連接 :NPT, SAE, AN, BSPP/G，壓縮，VCR, VCO

l 顯示屏:背光單色或彩色;集成或面板;無

l 密封圈: F-KM、F-KM、EPDM、硅樹脂

l 校準: 標準或高精度;定制校準點

M系列低流量設備尺寸

M系列中流量設備尺寸

M系列高流量設備尺寸